各有關單位：
為加快建設具有全球影響力的科技創新中心，進一步提升集成電路領域科技創新能力🤴🏿♢，加快突破集成電路領域核心關鍵技術，上海市科學技術委員會特發布2019年度“科技創新行動計劃”集成電路領域項目指南🫳。
一、征集範圍
專題一、關鍵核心產品技術攻關
方向1.集成電路製造裝備、材料及零部件
研究目標🫧：研製具有國際競爭力的重大集成電路裝備及關鍵零部件產品，突破和掌握集成電路製造高端裝備系統設計、集成和應用關鍵技術，持續提升集成電路高端裝備的零部件配套能力🧘🏻♂️。
研究內容：（1）集成電路高端裝備用關鍵零部件研發🖨、驗證與應用。（2）面向集成電路領域激光隱性切割技術研究與工藝驗證🛒。（3）矽片晶圓標識技術研究與驗證（4）高能離子註入機關鍵技術研究與樣機驗證。（5）10nm銅化學機械拋光液及14nm大馬士革工藝光刻膠去除劑研發✋🏼。
執行期限：2022年6月30日前完成⏲。
經費額度：本方向非定額資助。
申報主體資質條件⚠️：本市企業🐗。企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於2:1⛏。
方向2.集成電路製造關鍵技術
研究目標🧑：突破集成電路製造工藝模塊開發和工藝整合關鍵瓶頸，掌握具有自主知識產權的工藝技術，支撐先進工藝生產線建設和量產能力提升📯。
研究內容：大面陣、高動態CMOS圖像傳感器工藝研發提升。
執行期限🧑🏽：2021年6月30日前完成。
經費額度💘：本方向非定額資助。
申報主體資質條件：本市企業。企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於2:1。
方向3.核心芯片器件💇🏼♀️、模塊及其應用
研究目標👮♀️：與汽車等優勢產業和應用需求緊密結合☺️，持續推動核心產品的產業鏈上下協同創新，突破芯片👨👩👦👦、模塊自主設計、製造和應用關鍵技術🧯。
研究內容：（1）750V/250A以上功率等級IGBT芯片、模塊開發及新能源汽車示範應用。（2）高能氫註入溝槽場中止IGBT工藝開發。（3）碳化矽功率器件、光導開關器件研發和應用👧🏼。（4）車規級集成電路芯片及相應傳感器👨🏿🏭、控製器研發並小批量試裝驗證。（5）面向第四代PCIe通訊的超高速時序整合芯片研發與產業化。（6）汽車級EEPROM研發與應用👩🏻⚕️👶🏼。
執行期限：2022年6月30日前完成🐍🥷🏼。
經費額度🧛🏼♀️：本方向非定額資助。
申報主體資質條件：本市企業🌧🧚🏻♂️。企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於2:1。
專題二🍲𓀈、前瞻和共性技術研究
方向1.集成電路前沿理論與技術
研究目標：面向高性能非易失存儲與低功耗計算的基礎問題🧞♂️🕴🏻，探索新材料、新結構和新原理，實現超高速低功耗非易失存儲與計算🚴♀️，完成原型器件驗證👩🏻🚒。
研究內容：研究非易失存儲中的載流子微觀輸運機製，探索其在存算一體化和神經形態計算等方面的應用。
執行期限🧙🏼♀️：2022年6月30日前完成
經費額度🧞♂️：本方向非定額資助
申報主體資質條件🤰：本市獨立法人單位𓀉。
方向2.集成電路新器件、新工藝🟢、新方法研究
研究目標：面向未來電子學對更多功能集成智能微系統芯片的重大需求🤖，突破材料級🧚🏼♂️、器件級、系統級一體化微納集成芯片技術🕺🏽，為下一代智能集成微系統芯片提供支撐🛅🙇🏻。
研究內容🫅🏽：三維異質集成設計與製造關鍵技術研究及芯片驗證♜🤚🏻。
執行期限：2022年6月30日前完成👩🏻🦯➡️。
經費額度：本方向非定額資助，每個研究內容支持不超過2項。
申報主體資質條件：本市獨立法人單位。企業牽頭項目企業投入研發經費與申請資助經費之比不低於1:1。
二、申報要求
除滿足前述相應條件外👨🏼🦱，還須符合以下要求：
1.項目申報單位應當是註冊在本市的獨立法人單位；項目負責人應當受聘於項目申報單位👱🏿♂️👨👨👦，受聘期覆蓋項目實施周期。
2.研究內容已經獲得市級或區級財政資金支持的，不得重復申請財政資金支持😖。
3.作為項目負責人承擔的市科委科技計劃項目有2項及以上尚未驗收的🧔🏻，不得再作為項目負責人申報。
4.項目申報單位👩👩👧、項目負責人和參與人應當符合科研誠信管理要求📵。項目申報單位應當對申報材料的真實性和完整性進行審核🌲，不得含有涉密內容🌴。
5.項目經費預算編製應當真實👐🏼、合理，符合市科委科技計劃項目經費管理的有關要求。
6.如要對評審專家提出回避申請的，項目申報單位應當在提交申報材料時，提出回避名單（不超過3人）及理由。
7.要求申報單位在申報的研究內容相關領域有較強的團隊和技術基礎。鼓勵聯盟、功能型平臺組織產業鏈上下遊聯合申報。優先支持市區聯動扶持項目🏐。
三、申報方式
1.本指南公開發布。申請人通過“中國上海”門戶網站（www.sh.gov.cn）進入“上海市財政科技投入信息管理平臺”，網上填報項目可行性方案\項目建議書，並在線打印書面材料（非由申報系統在線打印的書面材料🤞🏼，或書面材料與網上填報材料不一致的，不予受理）。
網上填報程序：
（1）登陸“中國上海”網站（www.sh.gov.cn）；
（2）一網通辦—財政科技—點擊“上海市財政科技投入信息管理平臺”圖片鏈接進入申報頁面：
-【賬戶註冊】轉入註冊頁面進行單位註冊，然後再進行申報賬號註冊（單位註冊需使用“法人一證通”進行校驗）🏊🏻♂️；
-【初次填寫】使用申報賬號登錄系統，轉入申報指南頁面，點擊相應的指南專題後開始申報項目；
-【繼續填寫】登錄已註冊申報賬號👨🏼🚒💪🏽、密碼後繼續該項目的填報。
（3）有關操作可參閱在線幫助。
2.項目網上填報起始時間為2019年5月17日9:00🏃♀️，截止時間為2019年6月5日16:30。市科委辦事大廳集中接收書面材料時間為2019年5月31日至6月6日🌒，每個工作日9:00-16:30🧑🎄。逾期送達的，不予受理🛍️。
所有書面材料采用A4紙雙面打印，一式一份，須簽字蓋章齊全。使用普通紙質材料作封面，不采用膠圈、文件夾等帶有突出棱邊的裝訂方式。
市科委辦事大廳地址🫵🏿：徐匯區欽州路100號1號樓🌦。
辦事大廳不接收以郵寄或快遞方式送達的書面材料👩🏭。
四、評審方式
市科委對申報材料進行形式審查，並組織評審工作🙆🏻，采用通訊評審）項目評審采用通訊評審方式🍖，不安排答辯環節。
五、立項公示
市科委將向社會公示擬立項項目清單👩🎤🕣，接受公眾異議。
六🚘☣️、其它說明
項目承擔單位須在項目驗收前提交《科技報告》。
七、咨詢電話
服務熱線：8008205114（座機）、4008205114（手機）
技術支持▶️：62129099-2257
上海市科學技術委員會
2019年5月8日
科研處聯系人：馬駿 聯系電話：67792057 郵箱：zxkyc@dhu.edu.cn 地址：行政樓347室
申請材料需留一份原件至科研處存檔